您的位置 首页 芯片行情

一种LTCC衬板上的膜型压电阀设计方案

一种LTCC衬板上的膜型压电阀设计方案-本研究开发了一种LTCC衬板上的膜型压电阀,设计制造了一种单变形压动器和一种互补的三维陶瓷结构,阀门的性能通过气体流量、执行器位移和开关时间来描述,在进一步开发中,主动压电阀可作为集成Tas(微总分析系统)、生物MEMS或其他微流控系统的一部分。

本研究开发了一种LTCC衬板上的膜型压电阀,设计制造了一种单变形压动器和一种互补的三维陶瓷结构,阀门的性能通过气体流量、执行器位移和开关时间来描述,在进一步开发中,主动压电阀可作为集成Tas(微总分析系统)、生物MEMS或其他微流控系统的一部分。

一种LTCC衬板上的膜型压电阀设计方案

使用厚度为254米的杜邦PX951板材,用于制造带有通道的LTCC模块阀门,三个底层用于支撑通道确保机械稳定性,通道的横截面为250 米× 210 米,制作在接下来的三层。LTCC结构的总厚度为六层,这入口和出口通道设计为21毫米和18毫米长度分别为:入口、出口和阀座,以便于其它部件的组装组件。最上面的LTCC胶带是用于阀座的(2 mm × 2 mm)其被四个光束对准并保持在适当的位置600 米宽,空腔的外径为10 mm以及内部入口和出口过孔之间的距离空腔为3毫米。后处理和组装包括将LTCC激光刻划成单独的模块,胶合单体、入口和出口,以及电气制造人脉,单形态阀的组装从胶合开始用乐泰WR粘合剂将17毫米钢箔粘贴到阀座上氰基丙烯酸酯胶,单轴压力机和硅橡胶缓冲层用于轻微地形成钢内部阀座,使薄膜和阀座之间产生间隙越小越好,粘合薄膜后,极化的PZ 29压电圆盘用同样的粘合剂粘在钢上。

http://news.vvfanli.com/wp-content/uploads/2022/02/20220209060312-6203592057336.png

构建的阀门最初是打开的,并在施加电压下单晶片的弯曲,获得4.2–143.3毫升/分钟的流速阀门处于0.1-1巴压力下,如图4所示,每个与开路相比,测量点显示约4%的泄漏流量,最大值约为7毫升/分钟。泄漏可以大大减少通过在钢膜中引入软材料如橡胶,压电动器表现出作为函数的减小的位移压力(图5)。

一种LTCC衬板上的膜型压电阀设计方案

另一方面,为了实现更大的位移和流量,应修改执行器的尺寸和边界条件,或者使用压电系数较高的材料,还可以引入其他执行器方案。执行器的位移(1.30–1.25m)低于计算预测(∼2.25m),主要原因是陶瓷和钢之间的胶水过多,以及钢层变形导致膜的刚度增加,另一方面,由于胶水的弹性和陶瓷顶角的运动不受约束,执行器的边界条件不像真正的固定条件下那样刚性。

由于压电执行器具有较高的刚度和较高的送力能力,因此该阀门具有快速的驱动能力。单变形产生了大约1.3米的位移,使阀门关闭。由于表面粗糙度和LTCC变形,阀门的脱态泄漏率为4%,防止了阀膜的完全密封,泄漏可以通过改善表面质量、减少变形或在阀膜上引入软材料来凸化。与其他报告的阀门相比,该阀门表现出适度的性能,特别是在泄漏比方面,泄漏比比压力低于1巴的硅和聚合物基阀门的报告值大数倍,通过进一步的工作,可以大大改善阀门的泄漏情况,由于优越的表面质量和精确的控制间隙,由于非常精确,但昂贵的制造方法,硅基阀门已经提供了良好的密封,基于LTCC的阀门在廉价设备方面具有良好的前景,灵活快速开发高耐久性的新结构,标准的LTCC程序在阀门的制造中是足够的。然而,应该引入新的技术来减少后处理和细化阀门结构和压电执行器,以减小尺寸和提高性能。

审核编辑:汤梓红

 

免责声明:文章内容不代表本站立场,本站不对其内容的真实性、完整性、准确性给予任何担保、暗示和承诺,仅供读者参考,文章版权归原作者所有。如本文内容影响到您的合法权益(内容、图片等),请及时联系本站,我们会及时删除处理。

为您推荐

如何使用GPU编程优化模型/代码

  使用 Python 和 NumPy 库开发的 HIM 模型在 hackathon 开始时没有并行或 GPU 计算。在活动期间, THINKLAB 团队使用 CuPy 为了使他们的代码在 GPU 上并行运行,然后重点将用户定义的 CUDA 内核应用于参数。结果是 672 倍加速,计算时间从 2 周缩短到大约 30 分钟。\” />

<meta http-equiv=X-UA-Compatible content=\"IE=edge,chrome=1

NVIDIA驱动程序支持OpenCL和Vulkan进行互操作

  OpenCL 和 Vulkan 之间的互操作在移动和桌面平台上都有很强的需求。 NVIDIA 与 Khronos OpenCL 工作组密切合作,发布了一套临时跨供应商的 KHR 扩展。这些扩展使应用程序能够在 OpenCL 和 Vulkan 等 API 之间高效地共享数据,与使用隐式资源的前一代互操作 API 相比,灵活性显著提高。\” />

<meta http-equiv=X-UA-Compatible content=\"IE=edge,chrome=1

准备去元宇宙过第二人生?小心别被骗了

准备去元宇宙过第二人生?小心别被骗了   电子发烧友网报道(文/黄山明)随着元宇宙在近期的大火,相信大家对于这一技术已不陌生。但元宇宙因为其特性,也需要建立合适的网络安全防护措施,来应对这项技术带来的独特挑战。并且在元宇宙想要得以持续,需要用去中心化的平权式共享机制与共治机制来作为保障,既要做大“蛋糕”,也要分好“蛋糕”。但问题在于,去中心化的元宇宙,在安全问题上也将面临更大的挑战。     先简单解释一下元\” />

<meta http-equiv=X-UA-Compatible content=\"IE=edge,chrome=1

代工巨头再次换帅,中芯国际高管频频离职,业绩喜人之下原因为何?

电子发烧友网(文/黄山明)3月17日,中芯国际发出公告,公司代理董事长高永岗博士,获委任为中芯国际董事长,自2022年3月17日生效。而在半年前辞去中芯国际董事长职位的“芯片泰斗”周子学最终以身体原因为由,辞去了执行董事一职。   对于这一次的交接,有业内人士称这是一次完美的交接,对中芯国际乃至中国半导体产业都有着重要的影响。不过另一方面,自周子学辞任中芯国际董事长之后,其股价便一路走低,从半年前的21.1港元降至如今的\” />

<meta http-equiv=X-UA-Compatible content=\"IE=edge,chrome=1

电子测量仪器企业普源精电上市!年营收超3亿,募资7.6亿加速自研芯片项目

电子发烧友网报道(文/莫婷婷)4月8日,普源精电在科创板上市,发行价格60.88元/股,公开发行股份约3032.74万股,占公司发行后总股本的比例为25%。该股上市当日开盘即破发,截至今日收盘,普源精电报39.78元,跌幅34.66%,总市值48.26亿元。   图源:东方财富   在上市之前,普源精电在招股书的风险因素中提到,“公司无法保证未来几年内实现盈利,公司上市后亦可能面临退市的风险”。2020年、2021年上半年,普源精电分别亏损2716.6万元、2036.48万元,连\” />

<meta http-equiv=X-UA-Compatible content=\"IE=edge,chrome=1

发表评论

您的电子邮箱地址不会被公开。 必填项已用*标注

返回顶部