您的位置 首页 芯片行情

SPM光刻工艺的研究报告

SPM光刻工艺的研究报告-在这篇文章中,我们华林科纳演示了在钛薄膜上形成纳米尺度阳极氧化物的设备,以及在接触或半接触模式下使用NTMDT公司的求解器PROTM AFM对其进行表征。

    在这篇文章中,我们华林科纳演示了在钛薄膜上形成纳米尺度阳极氧化物的设备,以及在接触或半接触模式下使用NTMDT公司的求解器PROTM AFM对其进行表征。众所周知,在电场的影响下,当不同材料的表面相对于带负电的电极带正电时,氧化膜在表面上生长,这种电化学反应被称为阳极氧化,在图1中,显示了老挝的原理方案,在空气或任何潮湿的大气中,探针和样品表面通常被一层吸水薄膜覆盖。当尖端足够接近表面时,这些被吸收的层接触并通过毛细作用形成电解质桥。在尖端施加负电压时,尖端下方的钛表面将发生电化学反应。

http://news.vvfanli.com/wp-content/uploads/2022/02/20220209060253-6203590da0396.png

为了减小尖端和表面之间的水桥直径,我们建议根据W和TI的耐火化合物选择特殊的硬涂层,为了达到所需的特性,开发了用于老挝的硅悬臂梁的TIOx和W2C涂层,使用了阴极电弧沉积技术,这种方法允许沉积表面粗糙度约为0.1nm的超薄连续非晶薄膜,低粗糙度是非常重要的,因为在氧化过程中表面形貌在几纳米内发生变化,其他低粗糙度薄膜沉积技术,如分子束外延也可以使用。

为了获得老挝表面的尖端,我们使用了我们的标准,能够执行定位软件及其光刻选项。光刻窗口的一般视图如图所示3,使用我们的光刻软件,可以使用网格板,用电脑鼠标点击选择不同的几何图形,并绘制点、线、正方形、矩形、圆形和弧形,偏置电压及其脉冲持续时间也可以在很宽的范围内变化,高达4096×4096点的高级分辨率模式允许用户在大面积上书写复杂的图案,也可以加载位图文件或商用文件。

http://news.vvfanli.com/wp-content/uploads/2022/02/20220209060254-6203590eba3fa.png

图4显示了使用NANOLITHTM软件的光栅模式老挝的典型示例,在加载位图掩模之后,在扫描期间,在最小和最大掩模色调之间成比例地施加电压,并且阳极氧化物生长到不同的高度,以给出几纳米尺度的浮雕。

http://news.vvfanli.com/wp-content/uploads/2022/02/20220209060255-6203590f91f51.png

传统的压电管扫描仪具有较大的残余非线性和蠕变效应,这些干扰极大地影响了光刻操作的性能,在求解器PRO™AFM中,我们解决了这一关键问题,为了提高扫描性能,扩大仪器功能,增加了使用等效扫描仪技术的闭环控制,闭环等效器(CLE)扫描仪是工作扫描仪的外部双胞胎,它有电容传感器,可以记录扫描仪在X、Y和Z尺寸上的实际运动。工作和等效扫描仪平行连接到辅助控制单元,然后再连接到SPM控制器,以提供运动同步和闭环控制的扫描。实验表明,在闭环操作下,AFM显著提高了表面图案化的性能。

免责声明:文章内容不代表本站立场,本站不对其内容的真实性、完整性、准确性给予任何担保、暗示和承诺,仅供读者参考,文章版权归原作者所有。如本文内容影响到您的合法权益(内容、图片等),请及时联系本站,我们会及时删除处理。

为您推荐

如何使用GPU编程优化模型/代码

  使用 Python 和 NumPy 库开发的 HIM 模型在 hackathon 开始时没有并行或 GPU 计算。在活动期间, THINKLAB 团队使用 CuPy 为了使他们的代码在 GPU 上并行运行,然后重点将用户定义的 CUDA 内核应用于参数。结果是 672 倍加速,计算时间从 2 周缩短到大约 30 分钟。\” />

<meta http-equiv=X-UA-Compatible content=\"IE=edge,chrome=1

NVIDIA驱动程序支持OpenCL和Vulkan进行互操作

  OpenCL 和 Vulkan 之间的互操作在移动和桌面平台上都有很强的需求。 NVIDIA 与 Khronos OpenCL 工作组密切合作,发布了一套临时跨供应商的 KHR 扩展。这些扩展使应用程序能够在 OpenCL 和 Vulkan 等 API 之间高效地共享数据,与使用隐式资源的前一代互操作 API 相比,灵活性显著提高。\” />

<meta http-equiv=X-UA-Compatible content=\"IE=edge,chrome=1

准备去元宇宙过第二人生?小心别被骗了

准备去元宇宙过第二人生?小心别被骗了   电子发烧友网报道(文/黄山明)随着元宇宙在近期的大火,相信大家对于这一技术已不陌生。但元宇宙因为其特性,也需要建立合适的网络安全防护措施,来应对这项技术带来的独特挑战。并且在元宇宙想要得以持续,需要用去中心化的平权式共享机制与共治机制来作为保障,既要做大“蛋糕”,也要分好“蛋糕”。但问题在于,去中心化的元宇宙,在安全问题上也将面临更大的挑战。     先简单解释一下元\” />

<meta http-equiv=X-UA-Compatible content=\"IE=edge,chrome=1

代工巨头再次换帅,中芯国际高管频频离职,业绩喜人之下原因为何?

电子发烧友网(文/黄山明)3月17日,中芯国际发出公告,公司代理董事长高永岗博士,获委任为中芯国际董事长,自2022年3月17日生效。而在半年前辞去中芯国际董事长职位的“芯片泰斗”周子学最终以身体原因为由,辞去了执行董事一职。   对于这一次的交接,有业内人士称这是一次完美的交接,对中芯国际乃至中国半导体产业都有着重要的影响。不过另一方面,自周子学辞任中芯国际董事长之后,其股价便一路走低,从半年前的21.1港元降至如今的\” />

<meta http-equiv=X-UA-Compatible content=\"IE=edge,chrome=1

电子测量仪器企业普源精电上市!年营收超3亿,募资7.6亿加速自研芯片项目

电子发烧友网报道(文/莫婷婷)4月8日,普源精电在科创板上市,发行价格60.88元/股,公开发行股份约3032.74万股,占公司发行后总股本的比例为25%。该股上市当日开盘即破发,截至今日收盘,普源精电报39.78元,跌幅34.66%,总市值48.26亿元。   图源:东方财富   在上市之前,普源精电在招股书的风险因素中提到,“公司无法保证未来几年内实现盈利,公司上市后亦可能面临退市的风险”。2020年、2021年上半年,普源精电分别亏损2716.6万元、2036.48万元,连\” />

<meta http-equiv=X-UA-Compatible content=\"IE=edge,chrome=1

发表评论

您的电子邮箱地址不会被公开。 必填项已用*标注

返回顶部